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功能水洗 臭氧、氫、 二氧化碳氣體 改善環(huán)境，提高品質(zhì) 在半導體工藝中，傳統(tǒng)的RCA清洗被取代。將臭氧，碳酸等氣體溶入到水中，能增強氧化，還原的功能。減少，等廢液處理的負荷，可以有效的控制水的消耗。
下水道硫化氫對策 氧氣 改善環(huán)境，安全 下水道內(nèi)產(chǎn)生硫化氫，注入氧氣能起到抑制作用。制氧需要小型的PSA。下水道內(nèi)產(chǎn)生的硫化氫不但會腐蝕水泥，工作人員吸入后嚴重者會導致呼吸麻痹而死亡。由于硫化氫會在嫌氣性氛圍下生成，所以輸送氧氣，可保持良好的需氣性。